Autonomous.ReactiveGas.N2_Sub ns=2;i=879
Autonomous.NoFlow ns=2;i=863
Autonomous.ControlGate.NeedToWrite ns=2;i=858
Autonomous.Deposition.ControlGasFlow ns=2;i=859
Autonomous.Deposition.ControlGunShutters ns=2;i=860
Autonomous.Deposition.ControlGuns ns=2;i=861
Autonomous.Deposition.ControlSubShutter ns=2;i=859
ControlGate.SP_Position ns=2;i=296
ControlGate.SP_mtorr ns=2;i=293
ControlGate.State ns=2;i=291
ControlGate.Coef_Read.RV_Pressure ns=2;i=299
Autonomous.LightG1 ns=2;i=844
Autonomous.LightG2 ns=2;i=845
Autonomous.LightG3 ns=2;i=846
Autonomous.LightG4 ns=2;i=847
Autonomous.LightSubRF ns=2;i=848
Autonomous.OffG1 ns=2;i=850
Autonomous.OffG2 ns=2;i=851
Autonomous.OffG3 ns=2;i=852
Autonomous.OffG4 ns=2;i=853
Autonomous.OffSubRF ns=2;i=854
Autonomous.RampG1 ns=2;i=840
Autonomous.RampG2 ns=2;i=839
Autonomous.RampG3 ns=2;i=841
Autonomous.RampG4 ns=2;i=842
Autonomous.RampSubRF ns=2;i=843
Autonomous.StartDeposition ns=2;i=849
Control.AutoPlasma.G1 ns=2;i=788
Control.AutoPlasma.G2 ns=2;i=789
Control.AutoPlasma.G3 ns=2;i=790
Control.AutoPlasma.G4 ns=2;i=791
Control.AutoPlasma.SubRF ns=2;i=792
Control.PlasmaTimer.G1 ns=2;i=767
Control.PlasmaTimer.G2 ns=2;i=768
Control.PlasmaTimer.G3 ns=2;i=769
Control.PlasmaTimer.G4 ns=2;i=770
Control.PlasmaTimer.SubRF ns=2;i=771
Control.Setpoint.G1 ns=2;i=752
Control.Setpoint.G2 ns=2;i=753
Control.Setpoint.G3 ns=2;i=754
Control.Setpoint.G4 ns=2;i=755
Control.Setpoint.SubRF ns=2;i=756
ControlGate.SP_Position ns=2;i=296
Autonomous.EnableLog ns=2;i=856
DataLogging.Filename ns=2;i=675
DataLogging.SamplingRate ns=2;i=676
DataLogging.Info.G1 ns=2;i=717
DataLogging.Info.G2 ns=2;i=718
DataLogging.Info.G3 ns=2;i=742
DataLogging.Info.G4 ns=2;i=743
Depositing.DisplayContact ns=2;i=497
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Depositing.User ns=2;i=495
Depositing.DepGoing ns=2;i=482
Depositing.DepLen_min ns=2;i=486
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Ramp.G1.Target ns=2;i=816
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Ramp.G1.Rate ns=2;i=817
Ramp.G2.Rate ns=2;i=821
Ramp.G3.Rate ns=2;i=832
Ramp.G4.Rate ns=2;i=836
Ramp.SubRF.Rate ns=2;i=826
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Monitor.Calibrated_Out.G1_Bias ns=2;i=533
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Pressure.Ch1_E_torr ns=2;i=210
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Pressure.Ch3_E_torr ns=2;i=212
Ramp.G1.Ramp_ON ns=2;i=815 
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Ramp.G2.Target ns=2;i=820
Ramp.G3.Ramp_ON ns=2;i=833 
Ramp.G3.Target ns=2;i=831
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Ramp.G4.Target ns=2;i=835
Ramp.SubRF.Ramp_ON ns=2;i=827 
Ramp.SubRF.Target ns=2;i=825 
UserInput.MFC.SetPoints.Ar13 ns=2;i=169
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Autonomous.Deposition.ControlSubShutter ns=2;i=870